FLOW & PRODUCTS 　工程別対応製品

Resist Spin Coat

hmds-200
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spin-200_AC
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slit-200
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Bake ＆Thickness

bake-200
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bake-300
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film-150
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Exposure

contact-100
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contact-100_DA1000
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contact-150
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contact-150_MA1200A
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impr-150
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P.E.B ＆Cool

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Development

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Etching

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TP-50B
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CMP & CLEANING

CMP-100
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CMP-150
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BSW-100
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