製品紹介

マニュアルベーク装置 ーリフトピン方式ー

＊安全蓋はオプションとなります。

＊性能向上のため、外観および仕様は変更になる場合がございます。

１．適応基板サイズ：MAX φ200mmSiウェハ（4,6,8インチ対応）

２．温度設定：　　     50~150℃

３．温度安定性：　　 設定温度に対してモニター表示温度にて±１．０℃以内

４．時間設定：　　　 タイマーにより設定可能

５．基板昇降機能：　スタート・ボタンを押すと、自動的にピンが下降しベークを開始します。 
　　　　　　　　　　設定時間経過後、自動的にピンが上昇しベークを終了し、アラームを鳴 らします。

６．ベークプレート：φ220mmベークプレート　１基搭載　 プロキシミティ・ベーク方式（ギャップ１００μｍ固定）

７．オプションにてベークプレート部に蓋追加可能

１．電源：　　　　電源：100V　50/60Hz対応 　3Pタイプ　10A（３Pコンセント）

２．排気 ：         　  φ50mmダクト接続　30cm^3/min　 (蓋オプション適用時のみ)

３．装置サイズ：　本体：W40cm×W50cm×H35cm　（卓上可能）

４．装置重量 本体：約30kg

*サイズ、重量につきましては設計過程で変更になる場合がございます。