製品紹介

impr-150

小型UVナノインプリント装置

本装置は、ナノ・インプリント用簡易プレス装置です。

簡易プレス装置ですが、電動シリンダを使用することにより、エアー源の必要が有りません。

・プレス能力：　８００N

・ウェハサイズ：　6インチSi基板

・プレスエリア：　ウェハ中心25㎜□　（オプションで40㎜□）

・ＵＶランプ遊動移動ユニット：　ストロークＭａｘ５０ｍｍ

・プレス部平行機構：基本ストローク３５ｍｍ（Ｍａｘ５０ｍｍ）

・UV-LED光源：　標準10mW/cm2

・安全トビラインターロック：有

・装置サイズ：　Ｗ３３０　ｘ　Ｄ４９０　ｘ　Ｈ７２０（変更の可能性有）

・電源ＡＣ１００Ｖ　15A　（3ピンコンセント）

・電動シリンダ（プレス用・ＵＶランプ移動用）の位置・速度・プレス圧力は専用タッチパネルにて、設定出来ます。

・装置操作は、簡易タッチパネルにより操作します。

・操作は、完全マニュアル操作と、半自動（ワンサイクル）動作が出来ます。

・プレス時間は、簡易タッチパネルにて設定出来ます。

ワンサイクル動画手順

１．スタートスイッチを押す

２．プレス開始

　　※プレス時間は、事前に設定

３．プレス下限後、ＵＶランプＯＮ

　　※ＵＶランプは点灯するまでに、約１秒かかりますので、タイマ設定により

　　　点灯した時間を設定。

　　　但し、照度センサが付いていないので、おおよその設定になります。

４．ＵＶランプ移動（移動後、ＵＶランプ消灯）

５．プレス時間設定経過後、プレス上昇・ランプ原点に移動。

６．終了アラーム後、製品取出し。