製品紹介


CMP-150

小型マニュアルCMP(平坦化)装置


Ⅰ 概要

本装置は、定盤径380mmの卓上型汎用CMP実験装置です。コンパクトなレイアウトながら、独立したウエハ加工軸、ドレス軸を有しそれぞれに強制駆動が可能です。

ウエハ加工軸にはエアシリンダ加圧機構が付属されます。またドレス軸はIn-SituまたはEx-Situそれぞれのオペレーションが可能です。

安全対策も考慮し、インターロック付き簡易カバーを設置しました。

CMP-150
CMP-150

Ⅱ 構成及び主要仕様

1. プラテン関係

  1. 径:             φ15インチ(380㎜)
  2. 材質:           SUS304
  3. 回転数:          10rpm~100rpm
  4. 駆動関係:         ギャードモーター
  5. 回転数制御方法:      インバータ

2. ウエハ加工軸部 (ヘッド揺動機構はオプション)

 

(ヘッド部)

  1. 最大加工ウエハ:       6”
  2. ウエハ加圧方法:       エアシリンダ
  3. ウエハ保持方法:       テンプレート
  4. 加工中ウエハ状態:      フリー
  5. 加圧調整方法:        レギュレーター

(スピンドル部)

  1. 駆動方法:          インバータ
  2. 回転数:           10rpm~100rpm

3. ドレス軸部

  1. ドレス保持方式:        デッドウェート(ローラーアームによる)           
  2. 強制駆動装置:         間接駆動方式          
  3. 回転数:            10rpm~60rpm

4. スラリー自動ON,OFF

別途スラリー用チューブポンプ使用によりAC100VコンセントのON,OFF

5. リンス機構

1系統付属  マニュアル操作

6. ドレスリンス機構

リンス共用  DI WATER

7. 附属品

除外 加工ジグ 消耗品 スラリーポンプ等は含まれません。

8. 装置寸法(概寸)

W850×D550×H800

9. 装置重量

150kg

10. 制御部

タイマー

ウエハ加工軸回転数

ドレス軸回転数

非常停止

11. ユーティリティ

  1. 電源:           φ3 200V 10A
  2. AIR:          0.4MPa以上 Ave15L/min
  3. DI WATER:                   MAX 10L/min(お打合せにより決定) 0.2MPa以上 Ave10L/min