製品紹介
CMP-150
小型マニュアルCMP(平坦化)装置
Ⅰ 概要
本装置は、定盤径380mmの卓上型汎用CMP実験装置です。コンパクトなレイアウトながら、独立したウエハ加工軸、ドレス軸を有しそれぞれに強制駆動が可能です。
ウエハ加工軸にはエアシリンダ加圧機構が付属されます。またドレス軸はIn-SituまたはEx-Situそれぞれのオペレーションが可能です。
安全対策も考慮し、インターロック付き簡易カバーを設置しました。
Ⅱ 構成及び主要仕様
1. プラテン関係
- 径： φ15ｲﾝﾁ（380㎜）
- 材質： SUS３０４
- 回転数： 10rpm～100rpm
- 駆動関係： ギャードモーター
- 回転数制御方法： インバータ
2. ウエハ加工軸部 （ヘッド揺動機構はオプション）
（ヘッド部）
- 最大加工ウエハ： ６”
- ウエハ加圧方法： エアシリンダ
- ウエハ保持方法： テンプレート
- 加工中ウエハ状態： フリー
- 加圧調整方法： レギュレーター
（スピンドル部）
- 駆動方法： インバータ
- 回転数： 10rpm～100rpm
3. ドレス軸部
- ドレス保持方式： デッドウェート（ローラーアームによる）
- 強制駆動装置： 間接駆動方式
- 回転数： 10rpm～60rpm
4. スラリー自動ON,OFF
別途スラリー用チューブポンプ使用によりAC100VコンセントのON,OFF
5. リンス機構
１系統付属 マニュアル操作
6. ドレスリンス機構
リンス共用 ＤＩ ＷＡＴＥＲ
7. 附属品
除外 加工ジグ 消耗品 スラリーポンプ等は含まれません。
8. 装置寸法（概寸）
Ｗ850×Ｄ550×Ｈ800
9. 装置重量
150ｋｇ
10. 制御部
タイマー
ウエハ加工軸回転数
ドレス軸回転数
非常停止
11. ユーティリティ
- 電源： φ３ ２００Ｖ 10Ａ
- ＡＩＲ： ０．４MＰa以上 Ave１５Ｌ／min
- ＤＩ WATER： MAX 10L／min（お打合せにより決定） ０．２MＰa以上 Ave１０Ｌ／min