製品紹介


slit-200

実験用スリットコーター


Ⅰ.概要

本製品は、実験用の小型スリットコーターでスタンドアローンタイプとなっております。手軽に、MAX200㎜□基板までのスリットコーティングが可能です。ご要望によりMAX300mm対応機も用意できます。あらゆる塗布材の開発やLCDパネルの試作、カラーフィルターの試作などに便利です。

又、お客様のご要望に応じたカスタム仕様の生産機も製造可能で、塗布精度±2%を達成しております。

 

*性能向上のため、外観および仕様は変更になる場合がございます。

slit-200
slit-200

▲塗布装置の外観


Ⅱ.特徴

  1. 低粘度から高粘度対応: 1cpsから5,000cps
  2. 膜厚精度:       ±10%以下(DRY)
  3. 簡単なノズル交換構造 
  4. 短時間再液出し:    ノズル交換後液出し迄10分(従来スリットコーターの1/10)

●システム

ステージ、ナイフエッジノズルから構成されます。

 

ナイフエッジノズルスリット幅は、シムによりスリット幅を調整できます。 

 

Ⅲ. ユーティリティー

  1. 電源:     単相AC100V 50/60Hz共用 15A
  2. CDA:     CDA:0.4Mpa~0.7Mpa 200NL/min Rc1/4
  3. 装置サイズ:  750mm(W)x950mm(D)x(1,031)mm(H)
                                  *付帯設備、突起部除く
  4. 重量:       約70kg