製品紹介

反射光学方式の膜厚測定装置です。手軽に超薄膜から厚膜までの膜厚測定が可能です。（PCは含まれません）

1. 測定膜厚：10nm～50μm（分解能1nm）
2. 分光器:AvaSpec-ULS2048CL-EVO-UA-50(200-1100nm 分解能2.5nm)
3. ソフトウェア：AvaSoft-All
4. 測定スポット：1mmΦ
5. 光源：AvaLight-DHｃ（重水素-ハロゲンランプ）