製品紹介
spin-200_AC
小型マニュアルスピンコーター
Ⅰ．概要
本装置は、レジストをスピンコートする装置です。
Ⅱ．特徴
1) 基板サイズ最大φ200mmまたは、150mm□対応のスピンコートモジュールが搭載されています。省スペースでのコーティング作業が可能です。
2) ディスペンスユニットは付きませんが、高精度塗布が可能です。
3) スピン・プログラムは2ステップ設定可能です。
多品種サンプル作成に最適です。
Ⅲ．仕様
1)適応適応基板サイズ ・MAX φ200mmSiウェハ（オプションにて4,6インチ対応）
2)搭載ステージ ・スピン塗布カップ １式
3) センタリング方式 ・自動センタリング
4) エッジリンス付属 ・有り
5) バックリンス付属 ・有り
6)試料供給搬送方法 ・ウェハをチャック上に乗せ自動センタリングを行う、センタリング終了後レジストを手動で滴下し
プログラムをスタートさせます。
・プログラムが終了しましたらチャック吸着を解除し、基板をマニュアルにて回収します。（毎葉式）
7)スピンカップ
①ウェハ支持方式 ・スピンチャック 真空吸着方式
②スピンカップ ・SUS製（排気はありません）
②スピンチャック ・φ80mm（4インチ、6インチ、8インチ用）
φ20mm（QCM基板用）
④スピン回転 ・最大回転3,000rpm（無負荷状態において）
最小回転100rpm
・回転数デジタル表示機能付き
8)SpinCalculatorソフトウェア付属
Ⅳ.ユーティリティ
1)電源 100V 50/60Hz対応 3Pタイプ ５A（３Pコンセント）
2)真空 小型真空ポンプ1基付属
3)装置サイズ 本体：W500mm×W500mm×H350mm （卓上型）
4)装置重量 本体：約45kg
*サイズ、重量につきましては設計過程で変更になる場合がございます。
Ⅴ．その他
1)提出書類 納入時以下の書類を添付いたします。
取扱説明書 クリーン紙 １部（日本語または英語）
消耗品リスト クリーン紙 １部（日本語または英語）
2)除外工事 下記工事は除外させていただきます。
①１次側電気配線工事 貴社電源設備より本装置引込口まで
3)装置外観色 メーカー標準色
4)保証期間 本装置の保証期間は御社納入、検収後１年間といたします。
但し、消耗品は有償にて供給いたします。（消耗品リストに記載）
装置の保証期間内にあって正常なる設置条件下にて適切なる使用条件にもかかわらず
故障が発生した場合は無償にて修理申し上げます。
※性能向上のため、外観および仕様は変更になる場合がございます。