製品紹介
dev-200
小型マニュアルスピンディベロッパー
Ⅰ．概要
本装置は、フォトレジストをスピン・現像する卓上装置です。
Ⅱ．特徴
1)基板サイズφ200mm対応のスピン・現像・モジュールが搭載されています。省スペースでの現像作業が可能です。
2)現像ノズルは、扇型スプレー式のノズル（スイング方式）１系統を取り付けることが可能です。
3)現像方式はパドル式に対応しております。
4)現像液の温調機能はオプションとなります。
5)スピン・プログラムは32ステップ、10プログラムセーブ可能です。多品種サンプル作成に最適です。
Ⅲ．仕様
1)適応基板サイズ ・MAX φ150mmSiウェハ（6および8インチ対応）
2)搭載ステージ ・スピン現像カップ １式
3)試料供給搬送方法 ・ウェハをチャック上にセンターリング部品を使用しセットし
チャックに真空吸着し、センターリング部品を取り外した後、
プログラムをスタートさせます。
・プログラムが終了しましたら、チャック吸着を解除し、
基板をマニュアルにて回収します。（毎葉式）
4)スピン・現像部
①ウェハ支持方式 ・スピンチャック（1個付属） 真空吸着
②スピンカップ ・樹脂製デフレクターリング付き現像方式（現像液は、TMAH2.38％程度に対応）
③現像液系統 ・１系統（可動型アーム１式 リンスと共用）
・扇型スプレー式ノズル
・加圧タンク（５ℓSUS製キャニスター缶）１式付き（レギュレータ、安全弁付き）
④リンス液系統 ・１系統（純水仕様）
・可動型アーム１式 現像液と共用
・ストレート・ノズル方式
・加圧タンク（５ℓSUS製キャニスター缶）１式付き（レギュレータ、安全弁付き）
⑤基板裏面洗浄(ＢＳＲ) ・１系統（純水）
・環状型リンスノズル１式
⑥スピン回転 ・最大回転3,０００rpm（無負荷状態において）
・回転数デジタル表示機能付き
5)ドレイン系統 ・１系統
・廃液タンクに接続（満タンセンサーを付属）
・20ℓ廃液タンク1個付属
6)排気系統 ・38㎜φダクト接続 貴社の局所排気装置に接続ください。
7)プログラム ・液晶パネルによる入力方式
・10プログラム記憶可能
・1プログラムにつき最大32ステップ
8)現像液温調機能（オプション機能）
現像液を、チラーを用いて温調し、現像装置に供給します。
現像液温調システムの概要図
キャニスター缶から供給される現像液を、チラー内部を通すことで、熱交換温調します。その後、現像装置へ供給されます。
チラー：SMC社製サーモコンHEC-Aシリーズまたは同等品
対応温度：15℃～30℃
注意事項：ノズル先端での温度を保証するものではありません。
Ⅳ.ユーティリティ
1)電源 100V 50/60Hz対応 ３Pタイプ 10A
2)圧空 ５㎏/㎠ OD1/４インチチューブ １系統（バルブ騒動用）
3)N2 ２㎏/㎠ OD1/４インチチューブ １系統（現像液の加圧用）
4)真空 真空ポンプ １基付属
5)装置サイズ W60cm×D50cm×H50cm（卓上可能）
6)装置重量 約50㎏
※サイズ、重量につきましては設計過程で変更になる場合がございます。
Ⅴ.その他
1)提出書類 納入時以下の書類を添付いたします。
取扱説明書 クリーン紙 １部（日本語）
2)除外工事 下記工事は除外させていただきます。
①１次側電気配線工事 貴社電源設備より本装置引込口まで。
②１次側空気ガス及び 貴社圧縮空気ガス源より本装置引込口まで。
③排気用配管工事 貴社排気管入口より本装置引込口まで。
3)装置外観色 メーカー標準色とさせていただきます。
4)保証期間 本装置の保証期間は御社納入、検収後１年間といたします。
但し、消耗品は有償にて供給いたします。（消耗品リストに示します）
装置の保証期間内にあって正常なる装置条件下にて適切なる仕様条件にもかかわらず
故障が発生した場合は、無償にて修理申し上げます。
※性能向上のため、外観および仕様は変更になる場合がございます。
