製品紹介

小型マニュアルベーク装置 

＊安全蓋はオプションとなります。

＊性能向上のため、外観および仕様は変更になる

　場合がございます。

1)適応基板サイズ　　　MAX φ200mmSiウェハ（4,6,8インチ対応）

2)温度設定　　   　　     50~150℃

3)温度安定性　　 　　  設定温度に対してモニター表示温度にて±1.0℃以内

4)時間設定　　　 　　  タイマーにより設定可能

5)基板昇降機能　　　   スタートボタンを押すと自動的にピンが下降しベークを開始します。 
　　　　　　　　　　   設定時間経過後、自動的にピンが上昇しベークを終了し、アラームを鳴らします。

6)ベークプレート　　　φ220mmベークプレート　１基搭載

　　　　　　　　　　   プロキシミティ・ベーク方式（ギャップ100μｍ固定）

7)オプション　　　　　ベークプレート部に蓋追加可能

1)電源　　　　　　電源：100V　50/60Hz対応 　3Pタイプ　10A（３Pコンセント）

2)排気          　  　　φ50mmダクト接続　30cm^3/min　 (蓋オプション適用時のみ)

3)装置サイズ　　　W40cm×W50cm×H35cm（卓上可能）

4)装置重量 　　　  約30㎏

*サイズ、重量につきましては設計過程で変更になる場合がございます。

1)提出書類　　　　　　　　納入時以下の書類を添付いたします。

　　　　　　　　　　　  　 取扱説明書　　　クリーン紙　　１部（日本語・英語）

2)除外工事　　　　　　   　下記工事は除外させていただきます。

　①１次側電気配線工事　  貴社電源設備より本装置引込口まで

　②１次側排気接続工事　  貴社排気設備より本装置引込口まで

3)装置外観色　　　　　　  メーカー標準色

4)保証期間　　　　　　　  本装置の保証期間は御社納入、検収後１年間といたします。

　　　　　　　　　　　　 但し、消耗品は有償にて供給いたします。（消耗品リストに示します）

　　　　　　　　　　　　 装置の保証期間内にあって正常なる設置条件下にて適切なる使用条件にもかかわらず

　　　　　　　　　　　　 故障が発生した場合は無償にて修理申し上げます。

※性能向上のため、外観および仕様は変更になる場合がございます。