実験用密着露光装置(4インチ対応)
マスクとウェハを吸着させてコンタクト露光を行なうための微細加工用露光装置です。
8 time / 8 倍
UV-LED 365nmまたは405nm
Max. 14mW / cm2(365nm) またはMax. 20mW / cm2(405nm)
Input power supply:1φ AC100〜110V 7A or 1φ 200〜220V 3.5A
Vacuum×1,Dry air×1
本体:W600×D600×H1900 単位mm
重量:約70kg
アライメント用USBカメラ×2,電源ケーブル(2m)×1
アライメント確認用液晶タブレット×1
商品の組み立て・設置は基本お客様で行って頂きます。弊社作業者の組み立て・設置 (有料) も可能です。
価格・仕様変更・オプション等はお気軽に弊社までお問い合わせください。
Mini-Lab 株式会社
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