製造装置
contact-100_DA1000
実験用密着露光装置（４インチ対応）
Ⅰ概要
マスクとウェハを吸着させてコンタクト露光を行なうための微細加工用露光装置です。
Ⅱ特徴
- 実験・研究に最適な手動式露光装置です。
- 卓上設置が可能なコンパクトな設計です。
- UV-LEDランプハウスが標準搭載されています。(有効露光範囲φ4インチ)
- コンタクト露光タイプ(オプションで他の露光モード対応可能)
- 完全手動式でリーズナブルが価格帯となっております。
Ⅲ基板サイズ及びフォトマスクサイズ
- 基板サイズ： 最大4インチφまでの露光が可能です。
(2インチφ,3インチφの露光も可能です。) - フォトマスクサイズ：5インチ角
Ⅳ. Alignment Scope
8 time / 8 倍
Ⅴ. ランプハウス
UV-LED 365nmまたは405nm
Ⅵ. Illumination Intensity
Max. 14mW / cm2(365nm) またはMax. 20mW / cm2(405nm)
Ⅶ.Utility
Input power supply:1φ AC100〜110V 7A or 1φ 200〜220V 3.5A
Vacuum×1,Dry air×1
Ⅷ.寸法・重量
本体：W600×D600×H1900 単位mm
重量：約70kg
Ⅸ.Accessories
アライメント用USBカメラ×2,電源ケーブル(2m)×1
アライメント確認用液晶タブレット×1
Ⅹ.Notes
商品の組み立て・設置は基本お客様で行って頂きます。弊社作業者の組み立て・設置 (有料) も可能です。
価格・仕様変更・オプション等はお気軽に弊社までお問い合わせください。