製品紹介

spin-150

超小型マニュアルスピンコーター

本装置は、レジストをスピンコートする装置です。

＊性能向上のため、外観および仕様は変更になる場合がございます。

1) 基板サイズ最大φ150mm対応のスピンコートモジュールが搭載。省スペースでのコーティング作業が可能。

2) ディスペンスユニットは付きませんが、高精度塗布が可能。

3) スピン・プログラムは2ステップ設定可能。多品種サンプル作成に最適。

1. 適応適応基板サイズ・MAX φ150mmSiウェハ（4,6インチ対応）

2. 搭載ステージ・スピン塗布カップ　１式　

3. 試料供給搬送方法・ウェハをチャック上にセンターリング部品を使用しセットし、チャックに真空吸着し、
センターリング部品を取り外した後、プログラムをスタートさせます。

・プログラムが終了しましたら、チャック吸着を解除し、基板をマニュアルにて回収します。（毎葉式）

4. スピンカップ

1) ウェハ支持方式・スピンチャック(1個)　真空吸着

2) スピンカップ　　・ＳＵＳ製（排気はありません）

3) スピン回転　　　　・最大回転５，０００rpm（無負荷状態において）最小回転100rpm

　　　　　　　　　　・回転数デジタル表示機能付き

5. SpinCalculatorソフトウェア付属

1. 電源：　　　　　100V　50/60Hz対応　3Pタイプ　５A（３Pコンセント）

2. 真空：　　　　　小型真空ポンプ　1基付属

3. 装置サイズ本体：W45cm×W40cm×H30cm　（卓上可能）

4. 装置重量本体：約30kg

*サイズ、重量につきましては設計過程で変更になる場合がございます。

1. 提出書類：　納入時には、取扱説明書ならびにクリーン紙　１部（日本語・英語）を添付。

2. 除外工事：　１次側電気配線工事貴社電源設備より本装置引込口まで

3. 装置外観色：メーカー標準色

4. 保証期間：　本装置の保証期間は御社納入、検収後１年間。但し、消耗品は有償にて供給。（消耗品リストに示します）

装置の保証期間内にあって、正常なる設置条件下にて適切なる使用条件にもかかわらず故障が発生した場合は、無償にて修理。

5. 本システムは性能向上のため、仕様の一部を変更する場合が有ります。