製品紹介
spin-100
超小型マニュアルスピンコーター
Ⅰ．概要
本装置は、レジストをスピンコートする装置です。
Ⅱ．特徴
- 基板サイズ最大φ100mm対応のスピンコートモジュールが搭載されています。省スペースでのコーティング作業が可能です。
- ディスペンスユニットは付きませんが、高精度塗布が可能です。
- スピン・プログラムは、2ステップ設定可能です。多品種サンプル作成に最適です。
参考外観写真
＊性能向上のため、外観および仕様は変更になる場合がございます
Ⅲ．仕様
１．適応基板サイズ： MAX φ100mmSiウェハ（4インチ対応）
２．搭載ステージ ： スピン塗布カップ １式
３．試料供給搬送方法：ウェハをチャック上にセンターリング部品を使用しセットし、チャックに真空吸着し、センターリング部品を取り外した後、プログラムをスタートさせます。
プログラムが終了しましたら、チャック吸着を解除し、基板をマニュアルにて回収します。（毎葉式）
４．スピンカップ
１）ウェハ支持方式 ：スピンチャック(1個) 真空吸着
２）スピンカップ： ＳＵＳ製（排気はありません）
３）スピン回転： 最大回転 5000rpm（無負荷状態において）
最小回転 100rpm
回転数デジタル表示機能付き
５．SpinCalculatorソフトウェア付属
Ⅳ.ユーティリティ
１．電源： 100V 50/60Hz対応
3Pタイプ ５A（３Pコンセント）
２．真空： 小型真空ポンプ1基付属
３．装置サイズ 本体：W45cm×W40cm×H30cm （卓上可能）
４．装置重量 本体：約30kg
*サイズ、重量につきましては設計過程で変更になる場合がございます。