製品紹介
etch-150
小型マニュアルスピンエッチャー
Ⅰ．概要
本装置は、基板をスピン（ウエット）エッチングする装置です。
Ⅱ．特徴
- 基板サイズ１５０mmφ用対応のスピンウェットエッチングモジュールが搭載されています。省スペースでの現像作業が可能です。
- エッチング液ノズルは、扇型スプレーノズル（スイング方式）１系統を取り付けることが可能です。
- エッチング方式はパドル式に対応しております。
- エッチング液の温調機能はありません。
- スピン・プログラムは32ステップ、10プログラムセーブ可能です。多品種サンプル作成に最適です。
＊性能向上のため、外観および仕様は変更になる場合がございます。
Ⅲ．仕様
１．適応基板サイズ ：MAX １５０mmφ基板（標準で4,6インチ対応）
２．搭載ステージ ：スピンカップ １式
３．試料供給搬送方法 ：ウェハをチャック上にセンターリング部品を使用しセットし、チャックに真空吸着し、センターリング部品を取り外した後、プログラムをスタートさせます。プログラムが終了しましたら、チャック吸着を解除し、基板をマニュアルにて回収します。（毎葉式）
４．スピン・エッチング部：
１）ウェハ支持方式：スピンチャック（1個付属） 真空吸着
２）スピンカップ：樹脂製（エッチング液は、SUSを侵さないものに限る
３）エッチング液系統：
- １系統（可動型アーム１式 リンスと共用）
- 扇型スプレー式ノズル１式
- 加圧タンク（５ℓSUS製キャニスター缶）１式付き（レギュレータ、安全弁付き）
４）リンス液系統：
- １系統（純水仕様）
- 可動型アーム１式 エッチング液と共用
- ストレート・ノズル方式
- 加圧タンク（５ℓSUS製キャニスター缶）１式付き（レギュレータ、安全弁付き）
５）基板裏面洗浄(ＢＳＲ):
- １系統（純水仕様）
- 環状型リンス１式
６）スピン回転：最大回転3，０００rpm（無負荷状態において）
- 回転数デジタル表示機能付き
５．ドレイン系統：１系統
- 廃液タンクに接続（満タンセンサーを付属）
- 20ℓ廃液タンク1個付属
６．排気系統：38㎜φダクト接続 貴社の局所排気装置に接続ください。
７．プログラム：液晶パネルによる入力方式
- 10プログラム記憶可能
- 1プログラムにつき最大32ステップ
＊薬液の温調機能はありません。
Ⅳ.ユーティリティ
- 電源： 100V 50/60Hz対応 3Pタイプ ５A
- 圧空： 5Kg/cm2、OD1/4インチチューブ、１系統（バルブ駆動用）
- N2： 2Kg/cm2、OD1/4インチチューブ、１系統(現像液の加圧)
- 真空： 真空ポンプ 1基 付属
- 装置サイズ 本体： W60cmxD50cmxH50ｃｍ （卓上可能）
- 装置重量 本体： 約50kg
*サイズ、重量につきましては設計過程で変更になる場合がございます。
- 提出書類 納入時以下の書類を添付いたします。
取扱説明書 クリーン紙 １部（日本語）
消耗品リスト １部（取扱説明書に添付）
- 除外工事 下記工事は除外させていただきます。
①１次側電気配線工事 貴社電源設備より本装置引込口まで
②１次側空気ガス及び 貴社圧縮空気ガス源より本装置引込口まで
③排気用配管工事 貴社排気管入口より本装置引込口まで
- 装置外観色 メーカー標準色とさせていただきます。
- 保証期間 本装置の保証期間は御社納入、検収後１年間といたします。但し、消耗品は有償にて供給致します。（消耗品リストに示します）
- 装置の保証期間内にあって、正常なる設置条件下にて適切なる使用条件にもかかわらず故障が発生した場合は、無償にて修理申し上げます。
- 本システムは性能向上のため、仕様の一部を変更する場合が有ります。