製品紹介

マニュアルベーク装置 ーリフトピン方式ー

＊安全蓋はオプションとなります。

＊性能向上のため、外観および仕様は変更になる場合がございます。

１．適応基板サイズ： MAX φ150mmSiウェハ（4,6インチ対応）

２．温度設定：　　     50~150℃

３．温度安定性：　　 設定温度に対してモニター表示温度にて±１．０℃以内

４．時間設定：　　　 タイマーにより設定可能

５．基板昇降機能：　スタート・ボタンを押すと、自動的にピンが下降しベークを開始します。 
　　　　　　　　　　設定時間経過後、自動的にピンが上昇しベークを終了し、アラームを鳴 らします。

６．ベークプレート：φ160mmベークプレート　１基搭載　 プロキシミティ・ベーク方式（ギャップ１００μｍ固定）

７．オプションにてベークプレート部に蓋追加可能

１．電源：　　　　電源：100V　50/60Hz対応 　3Pタイプ　10A（３Pコンセント）

２．排気 ：         　  φ50mmダクト接続　30cm^3/min　 (蓋オプション適用時のみ)

３．装置サイズ：　本体：W40cm×W50cm×H35cm　（卓上可能）

４．装置重量 本体：約30kg

*サイズ、重量につきましては設計過程で変更になる場合がございます。

１．提出書類 ：　納入時に、取扱説明書ならびにクリーン紙１部（日本語・英語）を添付。

２．除外工事 下記工事は除外。

３．装置外観色 メーカー標準色

４．保証期間 　　 本装置の保証期間は御社納入、検収後１年間。

但し、消耗品は有償にて供給致。（消耗品リスト参照）

装置の保証期間内にあって、正常なる設置条件下にて適切なる使用条件にもかかわらず故障が発生した場合は、無償にて修理。

５．本システムは性能向上のため、仕様の一部を変更する場合が有ります。