製品紹介

自動スピンエッチャー

• スピンエッチングユニット

1. ウェハ支持方式：　スピンチャック（1個付属）　真空吸着

2. スピンカップ：　　樹脂製（エッチング液は、SUSを侵さないものに限る）

3. エッチング液系統

　　　　　　　　　　・1系統（可動型アーム1式 リンスと共用）

　　　　　　　　　　・扇形スプレー式ノズル1式

　　　　　　　　　　・加圧タンク（20L　PFA製瓶）1式付き（装置内レギュレータ、安全弁付き）

4. リンス液系統

　　　　　　　　　　・1系統（純水仕様）　工場供給（0.3Mpa 程度）

　　　　　　　　　　・可動型アーム1式　エッチング液と共用

　　　　　　　　　　・ストレート 、ノズル方式

5. 基板裏面洗浄（BSR）

　　　　　　　　　　・1系統（純水）

　　　　　　　　　　・環状型リンス1式

6. スピン回転

　　　　　　　　　　・最大回転5000rpm（無負荷状態において）

　　　　　　　　　　・回転数デジタル表示機能付き

7. ドレイン系統

　　　　　　　　　　・1系統　廃液タンクに接続（満タンセンサーを付属）

　　　　　　　　　　　20L廃液タンク1個付属

8. 排気系統　　　　　　38mmΦダクト接続

　　　　　　　　　　　貴社の局所排気装置に接続ください

• 基板搬送ロボット

　4軸円筒座標型ワンアームクリーンロボットは、X軸ワンアーム・Z軸・θ軸の4軸備えています。

• 操作

1. 操作パネル：　タッチパネルにてスピンプログラム作成及び操作

2. プログラム保存・読出：　プログラムの保存・読み出し範囲は以下の通りとする

　　　　　　　　　　　　　・スピンプログラム

　　　　　　　　　　　　　・基板サイズ

3. 異常・警告アラーム：　アラーム発生時は処理を直ちに中止し、駆動部（搬送）を停止

4. オペレーターコール：　処理終了時及び、薬液切れ発生時等

• 安全仕様

1. 漏液センサー：　装置内に漏液センサー取付

2. 非常停止ボタン：　装置正面パネル部に非常停止ボタンを設置（電源遮断）

3. シグナルタワー：　3灯LEDタイプ

　　　　　　　　　　・赤：異常/警告アラーム

　　　　　　　　　　・黄：注意/オペレーターコール

　　　　　　　　　　・緑：自動運転中

　　　　　　　　　　・消灯：待機中

4. 駆動部安全仕様

　装置稼働中に安全扉を開けるとインターロックが作動し、駆動部が停止

　但し、ハンドディスペンス時はスピン現像カップ周辺の扉のインターロック機能は解除

5. 加圧SUSタンク安全仕様：　薬液交換時の誤操作防止用安全リリーフ弁付加圧タンク蓋

• 当社対応範囲

　・装置の設計/製作/取扱説明書の作成

　　電子ファイル資料の提出：取扱説明書、消耗品リスト

　・当社検収合格の上、梱包して出荷します

• 貴社対応範囲

　・車からの搬送作業、及び開梱作業

　・クリーンルームに入る前に装置の清掃作業

　・取付完了後、装置と外部のUtilityを接続する作業

　・一次側電気配線工事　貴社電源設備より本装置引込口（端子台）まで

　・一次側ガス配管工事　貴社圧縮空気源・窒素源より本装置引込口まで

　・一次側真空配管工事　貴社真空源より本装置引込口まで

　・排気用配管工事　貴社排気管取口より本装置引込口まで

　・水配管工事　貴社冷却水、純水源より本装置引込口まで

• 保証期間

　本装置の保証期間は検収完了後1年間といたします。装置の保証期間内にあって、正常な設置条件にて適切な使用条件

　（取り扱い説明書の記述に準ずる使用条件）にもかかわらず故障が発生した場合は、無償にて修理いたします。

　（但し、消耗品は除きます）

• その他

　・設置場所について

　　装置本体周辺600㎜幅程度のメンテナンスエリアが必要です。また、装置本体の薬液交換、廃液回収などの

　　作業できるエリアを十分確保してください。

　・本仕様書に記載されていない内容があった場合は、貴社と誠意を持って協議し、解決します。

　※本システムは性能向上のため、予告なく仕様の一部を変更する場合があります