製品紹介
BSW-100
小型マニュアル式ブラシ洗浄装置
１．対象ワーク
被洗浄物 φ４”ウェハー
φ６”ウェハー （対応キャリア別途要）
２．洗浄工程
| 工程 | 洗浄液 | 洗浄方法 | 回転数 | タイマー | その他 |
| １ |
純水 |
ブラシ | *０～340rpm | ０～999sec | フィルター |
| ２ | 純水 | リンス | ０～400rpm | ０～999sec | |
| ３ | N2 | スピン＋N2 | ０～4000rpm | ０～999sec |
＊ ブラシ本体の回転数です。ブラシ工程でのワークの回転数はリンス工程での回転数に準じます。
３．洗浄装置構成
- 外形寸法 800W×600D×1100H 突起部は除く
- 装置構成 架台 一般構造用鋼材溶接構造 塗装仕上げ
外装 ボンデ鋼板1.2t パネル式
キャスター、レベルアジャスター付
- 洗浄槽構成
スクライビング処理槽
材質 ：SUS-316 2.0t 電解研磨仕上げ
センサー ：扉センサー
排気 ：本体背面に接続
４．主要機構
- チャック ：スプリング（ｴｱｼﾘﾝﾀﾞﾘﾘｰｽ）着座センサー付 上面基準フロート方式、ワーク厚変化による調整は不要です。
- スイングアーム ：ロータリーアクチュエーター方式
- ブラシローラー ：ODφ６０
- ブラシモーター ：防水スピードコントロールモーター
- テーブルASSY ：ワーク変更にともない専用テーブル交換 （４“ASSY付属、６”ASSYオプション）
５．配管材料
SUS304,316 HI-PVC C-PVC 禁油品
６．制御及び安全装置
- 制御盤 本体内蔵型 シーケンサー 三菱電機 FXシリーズ
- 操作パネル 機械前面 タッチパネル
- 安全装置 非常停止
７．ユーティリティ電源
- 装置本体供給電源 ：3相２００V ６０Hｚ ５ＫＷ
- エアー圧力 ：０．５ＭＰａ １０ＮＬ／ｍｉｎ
- 窒素圧力 ：０．２ＭＰａ ２０ＮＬ／ｍｉｎ
- 純水 ：０．２ＭＰａ ３Ｌ／ｍｉｎ
- 排気 ：風量調整ダンパーは一次側にて接続お願いします。
- 排水 ：接続口径φ２０
８．推奨環境条件
- 周囲温度 ：１８～３０℃（常温）
- 周囲湿度 ：通常７５％以下（相対湿度）
- 振動 ：０．５Ｇ以下