製造装置
contact-150_MA1200A
実験用密着露光装置 （６インチ対応）
Ⅰ概要
マスクとウェハを吸着させてコンタクト露光を行なうための微細加工用露光装置です。
Ⅱ特徴
- 多品種・小ロット生産や実験・研究に最適な手動式露光装置です。
- フットプリントを縮小することで省スペース化を実現、座っての作業が可能です。
- 独自のミラー・レンズ光学系と高速画像処理を搭載しており、単眼アライメントが可能です。また、オプションにて裏面アライメント機能搭載が可能です。
- プロキシミティ露光、バキュームコンタクト露光、ハード及びソフトコンタクト露光の4つの露光モードに対応しております。
- 小片、カットされた基板への露光も可能です。
Ⅲ. 基板サイズ及びフォトマスクサイズ
- 基板サイズ: 最大6インチφまでの露光が可能です。※小片、カットされた基板も可
(2インチφ,3インチφ,4インチφの露光も可能です。) - フォトマスクサイズ: 5インチ角、7インチ角
Ⅳ.光源
Super high-pressure UV-lamp500W
Ⅴ.アライメント
(マニュアル調整式/オート調整式の選択が可能)
- マニュアル調整式：パルサ及びジョグスイッチにてアライメントステージを手動にて操作し、マスク側のアライメントマークに基板側のアライメントマークを合わせる機構です。
- オート調整式：基板側のアライメントマークを検出して、アライメントステージの駆動により、自動でマスク側の基板アライメントマークに合わせる機構です。
Ⅵ.ギャップ
1to200μm (Servo motor)
設定分解能：1μm / Setup resolution: 1μm
Ⅶ.解像力
L&S:4μm ※ポジレジスト膜厚1μm、ソフトコンタクト時にて。
Ⅷ.寸法・重量
本体：W750×D1050×H1710 単位mm
重量：400kg